סופּער שפּיגל ייבערפלאַך וואַל איז אַ שליסל טייל פון בויגן און טעלער יקוויפּמאַנץ. דער כלל איז אז די מער גלאַט און גענוי די וואַל ייבערפלאַך, די בעסער די פּראָדוקט קוואַליטעט. און, מיר שטענדיק שלאָגן פֿאַר דער קלענסטער מעגלעך ייבערפלאַך ראַפנאַס טאָלעראַנץ צו די מדרגה פון ראַ0.005ום. די אָפּטיקס מיינונג פּראָדוקט איז געווענדט פֿאַר פּראַדוסינג געפירט פּאַנאַלז, עלעקטראָניק, דין-פילם באַשטימען פון עלעקטריק אַפּפּליאַנסעס, און הויך-סוף קאַנסומער פּראָדוקטן אָפּטיילונג ווי פּיסי מאָניטאָר, רירעוודיק טעלעפאָן סקרין וכדומה.
● די ייבערפלאַך ראַפנאַס מדרגה פון די וואַל קענען זיין ריטשט ראַ0.005-0.01μם;
● די סילינדריסיטי און קאָסענטריסיטי פון די וואַל קענען זיין ריטשט ≤0.005מם;
● ענהאַנסעד וואַל רידזשידאַטי און מינאַמייזד וואַל ייבערפלאַך טעמפּעראַטור דיווייישאַן דורך ספּעציעל וואַל סטרוקטור פּלאַן.
● מאַקס. דיאַמעטער און לענג פון די וואַל: Φ1600×14000מם
● מאַקס. וואָג פון די וואַל: 15000קג
● ראָונדנעסס און קאָואַקסיאַליטי: ≤ 0.01מם
● ראַפנאַס פון די ייבערפלאַך: ראַ 0.005 ~ 0.01μם